隨著美國政府聯(lián)手其他國家收緊出口管制政策,中國企業(yè)進(jìn)口光刻機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備正面臨越來越大的困難。
當(dāng)?shù)貢r間9月5日,美國商務(wù)部下屬的工業(yè)與安全局(BIS)發(fā)布公告,出于“國家安全和外交政策”的考慮,更新量子計算、半導(dǎo)體制造和其他先進(jìn)技術(shù)的管制政策清單,共計133頁,這進(jìn)一步加強(qiáng)了美國對華量子計算、半導(dǎo)體制造等科技出口限制,涉及量子計算機(jī)及其相關(guān)設(shè)備、先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備必需的工具和設(shè)備、GAAFET(3nm及以內(nèi)芯片制造工藝)技術(shù)以及增材制造項(xiàng)目等。
BIS表示,此份文件規(guī)則自2024年9月6日起生效。
美國BIS副局長艾倫·埃斯特維茲(Alan Estevez)表示,此次行動確保美國出口管制與快速發(fā)展的技術(shù)保持同步,也確保了美國與國際伙伴合作時,出口管制更加有效。
隨后,荷蘭政府也“對齊”美國出口管制政策,實(shí)施所有的光刻機(jī)出口審批。9月6日,荷蘭光刻機(jī)龍頭ASML(阿斯麥)對鈦媒體App展示一份聲明中回應(yīng):
“荷蘭政府于今日發(fā)布了有關(guān)浸潤式 DUV(深紫外)光刻設(shè)備出口的最新許可證要求。ASML認(rèn)為,這項(xiàng)新要求將使出口許可證的發(fā)放方式更協(xié)調(diào)統(tǒng)一。根據(jù)更新后的許可證發(fā)放要求以及美國《出口管理?xiàng)l例》第734部分的第4.(a).(3)節(jié)的規(guī)定,ASML將需要向荷蘭政府而非美國政府申請 TWINSCAN NXT:1970i 和 1980i 型號浸潤式DUV光刻系統(tǒng)的出口許可證。之前,荷蘭政府已經(jīng)開始對 TWINSCAN NXT:2000i 及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)實(shí)施出口許可證要求。ASML EUV 光刻系統(tǒng)的銷售也受到出口許可證要求的限制。荷蘭政府公布的最新許可證要求將于 2024 年 9 月 7 日生效。由于這是一項(xiàng)流程性變更,ASML預(yù)計該公告不會對我們 2024 年的業(yè)績預(yù)期或 2022 年 11 月投資者日上公布的公司長期前景產(chǎn)生重大影響?!?/span>
換句話說,未來,如果由美國政府和荷蘭政府共同審批的話,ASML的先進(jìn)EUV(極紫外)、部分DUV光刻機(jī)設(shè)備都不太可能向中國銷售了。
針對上述消息,中國外交部發(fā)言人毛寧9月6日表示,中方一貫反對美國將經(jīng)貿(mào)科技問題政治化、武器化。我們認(rèn)為,對正常的技術(shù)合作和經(jīng)貿(mào)往來人為地設(shè)置障礙,違反市場經(jīng)濟(jì)原則,擾亂全球產(chǎn)供鏈穩(wěn)定,不符合任何一方的利益。
9月8日,中國商務(wù)部新聞發(fā)言人就此表示,中方注意到相關(guān)情況。近來,中荷雙方就半導(dǎo)體出口管制問題開展了多層級、多頻次的溝通磋商。荷方在2023年半導(dǎo)體出口管制措施的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步擴(kuò)大對光刻機(jī)的管制范圍,中方對此表示不滿。近年來,美國為維護(hù)自身全球霸權(quán),不斷泛化國家安全概念,脅迫個別國家加嚴(yán)半導(dǎo)體及設(shè)備出口管制措施,嚴(yán)重威脅全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定,嚴(yán)重?fù)p害相關(guān)國家和企業(yè)正當(dāng)權(quán)益,中方對此堅決反對。荷方應(yīng)從維護(hù)國際經(jīng)貿(mào)規(guī)則及中荷經(jīng)貿(mào)合作大局出發(fā),尊重市場原則和契約精神,避免有關(guān)措施阻礙兩國半導(dǎo)體行業(yè)正常合作和發(fā)展,不濫用出口管制措施,切實(shí)維護(hù)中荷企業(yè)和雙方共同利益,維護(hù)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定。
原本預(yù)期在10月美國BIS更新的 AI 半導(dǎo)體出口管制規(guī)定,突然提前一個多月快速落地實(shí)施。
9月5日,美國商務(wù)部BIS更新出口管制規(guī)定,加緊對量子計算和半導(dǎo)體制造設(shè)備等關(guān)鍵技術(shù)的出口管制。美國商務(wù)部表示,該部正在全球范圍內(nèi)對量子計算機(jī)和制造先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備所需的機(jī)器等特定類型的產(chǎn)品實(shí)施出口限制,但是對日本等采取類似措施的國家例外。
BIS在“商務(wù)管制清單”文件中增加和修訂了出口管制物項(xiàng)的分類編號 (ECCNs),對半導(dǎo)體制造設(shè)備、量子計算機(jī)技術(shù)及其相關(guān)設(shè)備、增材制造設(shè)備、GAAFET技術(shù)、量子計算特定材料和電子組件、以及軟件和特定半導(dǎo)體制造與量子計算設(shè)備開發(fā)的技術(shù),相關(guān)物項(xiàng)均進(jìn)行全球范圍內(nèi)的出口管制。
根據(jù)文件,涉及物項(xiàng)包括2B910(增材制造設(shè)備),2D910(增材制造設(shè)備的“軟件”),3A901(電子組件),3A904(低溫冷卻系統(tǒng))、3B001(半導(dǎo)體制造設(shè)備),3B903(掃描電子顯微鏡),3B904(低溫晶圓探測設(shè)備),3C907、3C908、3C909(特定材料),3D901、3D907(量子計算相關(guān)的“軟件”),3E901、3E905(量子計算和GAAFET技術(shù)的“技術(shù)”),4A906(量子計算機(jī)及相關(guān)組件),4D906(量子計算機(jī)相關(guān)組件的“軟件”)。4E906(量子計算機(jī)相關(guān)組件的“技術(shù)”),這些都會納入新的BIS審批獲準(zhǔn)當(dāng)中。
同時,BIS 還新增了 “國家安全” 和 “地區(qū)穩(wěn)定” 兩項(xiàng)全球許可證要求,從美國出口這些物項(xiàng)到全球所有國家都需要向美國申請許可。具體來說,對參加了瓦森納出口管制協(xié)定國家,原則上允許出口,而對美國指定的 “國家安全” 相關(guān)國家或 “武器禁運(yùn)國家”,例如中國,則是假定拒絕出口,對于其他國家,則是一事一議的原則。
進(jìn)一步,BIS 為 “志同道合” 的國家提供了豁免,即 “許可證豁免的出口管制”(IEC) 機(jī)制,各國如果實(shí)施和美國等效的出口管制,滿足了 IEC 的要求,那么美國將豁免對這些國家的出口許可要求。目前,意大利、英國、澳大利亞、加拿大、日本、西班牙、法國和德國等8個國家的20個物項(xiàng)將有特別的許可豁免權(quán)。
值得注意的是BIS文件中提到關(guān)于GAAFET(全環(huán)柵晶體管)部分,這將影響國內(nèi) GPU/AI 芯片研發(fā)和量產(chǎn)。
事實(shí)上,GAAFET是一種先進(jìn)半導(dǎo)體制造技術(shù),用于制造更小、更高效的晶體管,目前大體可以制造4nm、3nm、2nm以及1nm芯片產(chǎn)品。當(dāng)前涉及此技術(shù)的上中游產(chǎn)業(yè)鏈主要包括全球兩大晶圓代工龍頭(三星、臺積電),三大EDA龍頭(Synopsys新思科技、Cadence楷登科技、以及西門子EDA),這些公司均掌握此技術(shù),而蘋果、英偉達(dá)等企業(yè)都正在量產(chǎn)基于GAAFET的芯片。而文件中指出,BIS正在對涉及GAAFET技術(shù)的某些項(xiàng)目實(shí)施出口控制,以保護(hù)國家安全和外交政策利益。
不僅更新了管制新規(guī),同一時間,美國政府還讓荷蘭“對齊”出口限制。
9月6日,荷蘭政府發(fā)布有關(guān)浸潤式 DUV光刻設(shè)備出口的最新許可證要求,主要涉及荷蘭光刻機(jī)龍頭ASML的產(chǎn)品,預(yù)計該限令將于9月7日生效。
對此,荷蘭貿(mào)易部長雷內(nèi)特·克萊弗(Reinette Klever)表示:“這一決定是為了我們的安全。我們認(rèn)為,由于技術(shù)的進(jìn)步,這些特定生產(chǎn)設(shè)備的出口存在更多的安全風(fēng)險,尤其是在當(dāng)前地緣政治環(huán)境的背景之下。”
此前,荷蘭首相肖夫(Dick Schoof)表示,荷蘭政府在決定進(jìn)一步收緊ASML設(shè)備對華出口規(guī)則時,將考慮到該公司的經(jīng)濟(jì)利益。
“我們正在進(jìn)行談判,良好的談判,我們也在特別關(guān)注ASML的經(jīng)濟(jì)利益,這些利益需要與其他風(fēng)險進(jìn)行權(quán)衡,而經(jīng)濟(jì)利益是極其重要的”。肖夫補(bǔ)充說,“對荷蘭來說,ASML是一個極其重要的創(chuàng)新企業(yè),在任何情況下都不應(yīng)受到影響,因?yàn)檫@將損害ASML的全球地位”。
知情人士稱,肖夫領(lǐng)導(dǎo)的荷蘭政府很可能不會在ASML某些在華維修和提供備件的許可證于2024年底到期后為其續(xù)期,預(yù)計將涉及ASML的頂級DUV(深紫外)光刻機(jī)。對此肖夫不予置評。
實(shí)際上,在美國的壓力下,荷蘭政府從未允許ASML向中國客戶出口其最先進(jìn)的EUV設(shè)備,并從2023年9月開始要求NXT:2000系列及更好的DUV設(shè)備需要出口許可。2023年10月,美國單方面開始限制ASML 1970i和1980i工具的出貨。
ASML已警告中國客戶,從2024年起不預(yù)期再交付這些設(shè)備。
據(jù)財新,金杜律師事務(wù)所合規(guī)業(yè)務(wù)部貿(mào)易法合伙人戴夢皓表示,美國新增的這批全球管制物項(xiàng)在之前幾輪對中國的管制中已經(jīng)基本覆蓋到了,因此本次美國的新政策對中國產(chǎn)業(yè)的新影響不大。但是,這樣的新規(guī)利于美國未來進(jìn)一步收緊出口管制,對日本和荷蘭等半導(dǎo)體材料和設(shè)備生產(chǎn)國施加更大壓力。
總結(jié)看,此次BIS文件主要涉及量子計算的全產(chǎn)業(yè)鏈體系,也就是美國政府希望全面限制中國發(fā)展量子計算技術(shù),同時,通過與荷蘭、日本“對齊”出口管制方式,美國芯片產(chǎn)業(yè)鏈全面斷絕中國獲取海外先進(jìn)制程芯片所需的設(shè)備、材料等。
一位EDA行業(yè)人士向鈦媒體App透露,目前EDA三巨頭已經(jīng)限制國內(nèi)設(shè)計企業(yè)的GAAFET IP和EDA軟件采購,因此,此輪管制對于國內(nèi)EDA方面影響有限,但長期來看,中國企業(yè)很難再擁有研發(fā)先進(jìn)制程芯片的EDA軟件。
“我們本來就對放寬半導(dǎo)體出口沒什么期待了?!鄙鲜鋈耸糠Q。
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